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  • SiCウエハ販売

    パワーLSI、LED、光学部品用途で販売実績が多数ございます。

    製品ラインナップ

    • ◯SiCウエハ
    • ◯SiCインゴット
    • ◯角チップ
    • ◯電極膜付
    • ◯薄膜基板（100μm）
    • ◯複雑形状加工
    • ●販売実績300社以上

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  • 洗浄装置（ウェット処理装置）

    「高性能は必要だが、高価格 では困る」という方に最適な洗浄機です。

    ソリューション

    • ◯パーティクル除去
    • ◯金属除去
    • ◯デポ物除去
    • ◯半導体用
    • ◯HD用
    • ◯裏面膜除去
    • ◯両面処理
    • ◯エッチング
    • ◯MEMS用

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  • オゾン水生成装置

    「半導体、液晶、太陽電池精密 部品の洗浄に。使用中の薬液を削減できます。

    MTKオゾン水の特長

    • ◯高オゾン濃度（最高100ppm）
    • ◯高いコストパフォーマンス
    • ◯コンパクトサイズ
    • ◯高速で80ppm到達

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  • 水素水生成装置

    水素水生成装置 半導体、フォトマスク、ハードディスク、液晶、太陽電池の洗浄用途に。使用中の薬液を削減できます。

    水素水の特長

    • ◯パーティクル除去（超音波との併用推奨）
    • ◯Max 2ppm
    • ◯環境フレンドリー（環境負荷低減）

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  • GaN基板販売

    GaN基板パワーLSI、高速通信用途で使用されております。

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SiC ウエハ

SiC（炭化ケイ素）はSiとCからなる半導体材料である。第2周期の元素であるＣを有するSiCはSiやGaAsに比べ強固な結合原子を持ち、ワイドギャップ半導体と呼ばれる。SiCのバンドギャップは3.2eVと大きく、現在主流のSi半導体と比較し約3倍である。
その為、絶縁破壊電界強度はSi半導体の約１０倍と脅威的に大きい。 その他、熱伝導度は３倍高く放熱性に優れ、耐熱性も良好である。