1.枚叶式设备的优点（与浸泡式浴槽式相比较）

2.高性能低价格

本公司从客户的角度出发，在满足客户对产品性能要求的基础上，努力降低产品价格。
例如通过独创的腔室结构，从而实现滴水预防
为了处理该滴水预防等，无需反吸由处理腔室结构，根据自己的设计。
此外，清洗装置采用独特的搬运方式的设计，从而实现小型低价。
对于“想要高性能的设备，却不想要高价”的客户来说是最完美的清洗设备。
右图是本公司的产品与其他公司的比较图。MTK的设备性能与大公司相当，
但价格却是大公司的一半左右。

清洗设备制造公司的地位

3.可定制

我们可根据客户所需产品的性能，大小，期望价格等，提供不同设计方案。
材料的过度使用，不必要功能的过度设计将造成设备价格过高，MTK以客户为本，根据客需求的主次而提供设计方案。
如果您遇到难题也请不要放弃，首先请联系MTK。

4.充实的生产支持体制

作为技术公司，MTK
根据客户对设备规格，运行条件的不同需要而提供不同的设计方案。
MTK与很多经验丰富的公司建立了合作伙伴关系。
为了应对大量订单，产品的制造由シナノ精機来完成。
此外，我们还提供24小时之内的现地技术支持。
シナノ精機是位于新泻县长冈市的集半导体设备制造，售后服务为一体的专业团队。
此外，在销售方面，我们委托
总部位于石川县金泽市，有着70年优久历史的老牌优良企业，金泽机工来完成。

• 晶片的表面的粒子数少

  

  MTK拥有独特的室结构技术，在晶片处理过程中
  通过合理控制气流，液流，最合适的药液选择从而降低晶片表面的颗粒数。
  例1）1％dHF 15秒处理（6英寸） 20個/W（0.3μm以上）
  例2）DIW 30秒处理（6英寸） 5個/W（0.08μm以上）

• 高性能，低价格

  

  性能高则价格高，性能低则价格低是如今设备市场上的普遍情况。
  然而”想要高性能的设备，却不想要高价”的客户也大量存在。
  MTK将满足这些客户的需求。

• 占用空间小

  

  MTK拥有其他公司不具备的技术，实现了占地面积小型化
  1.独特的传送方式（不使用市面上出售的机器人）。
  2.化学液体2和纯水冲洗，以完成在该室干燥之一的过程。我们已经采取了若干级立式室。
  3，针对客户设计不同装置，提供最好的设计方案。
  4.通过提供技术方案减少多余零件的使用。

• 技术工艺条件的提案

  

  很多设备制造商擅于硬件的制造，而处理技术缓解薄弱。
  然而MTK拥有曾在半导体制造公司工作的员工，可针对客户提供最适合的设计方案
  例
  ◯药液的选定
  ◯处理时间，转数
  ◯氢水，机能水等

• 同时清洗晶片的两侧

  

  通常情况，固定晶片外周部清洗晶片里面时，对清洗设备硬件的控制十分困难。然而，MTK开发了
  同时清洗晶片两面的新技术。

• 丰富的扩充选择

  

  MTK除了节约成本的标准规格清洗设备之外，
  还提供了可满足顾客需要的各种丰富选项。
  例）
  ◯2流喷射　◯超音速喷射
  ◯氢水，碳酸水等功能水　◯臭氧水（最高为30ppm）
  ◯刷清洗　◯角基板处理　◯CMP后清洗

枚叶式清洗设备CL系列的的应用

◯半导体（前处理，后处理）
◯SAW滤波器或类似的传感器的
◯硬盘
◯FPD（LCD，智能手机等）
◯MEMS
◯太阳能电池

看到在视频枚叶式清洗设备

枚叶式晶片清洗的优点（相对于浴槽式）

性能规格