2016年セミコンJapan展示会に出展いたします。枚葉式Wet処理装置、オゾン水生成機器、SiC製品。是非、ブースへお立ち寄りください(ブース番号5429)
2016年11月4日
MTK社の特徴であります高コストパフォーマンスな製品をセミコンJapan2016に出展いたします。是非、ブースへお立ち寄りください。
【展示製品】
・枚葉式Wet処理装置(エッチング、洗浄など)
高性能でありながら低価格な装置です。更に、サイズがコンパクトなので小スペースなエリアに有利です。
・オゾン水生成機器
有機物、金属、パーティクル除去には有効です。薬品代替な可能なコストパフォーマンスに優れています。
オゾン水濃度は10~80ppまで対応。
・単結晶SiC製品
大口径6インチのSiCウエハ、SiCインゴット。SiCデバイスの開発用・量産用にお試しください。