最近、弊社MTKでもベルヌイ搬送について調査始めました。

非接触式のべルヌイ方式の搬送方法ではハーモテックさんが有名ですね。MTKも洗浄装置の搬送部分に付けることにしています。

特許庁ホームぺージからパテントを探して読んでみると、原理的には至って簡単なようです。円筒形の中にエアーを送り込み、円筒形の外周に沿って旋回流を発生させる事により、

旋回流の中心部分は負圧になり、この負圧の力で製品を約0.5mmの箇所で浮遊させるようです。各社ロボットメーカさんや、第一施設工業さんも販売されているようですね。

半導体などでの薄くて割れやすい製品の搬送には必須かもしれません。今後、より注目される技術になりそうです。