• SiCウエハ販売

    パワーLSI、LED、光学部品用途で販売実績が多数ございます。

    製品ラインナップ

    • ◯SiCウエハ
    • ◯SiCインゴット
    • ◯角チップ
    • ◯電極膜付
    • ◯薄膜基板（100μm）
    • ◯複雑形状加工
    • ●販売実績300社以上

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  • 洗浄装置（ウェット処理装置）

    「高性能は必要だが、高価格 では困る」という方に最適な洗浄機です。

    ソリューション

    • ◯パーティクル除去
    • ◯金属除去
    • ◯デポ物除去
    • ◯半導体用
    • ◯HD用
    • ◯裏面膜除去
    • ◯両面処理
    • ◯エッチング
    • ◯MEMS用

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  • GaN基板販売

    GaN基板パワーLSI、高速通信用途で使用されております。

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  • オゾン水生成装置

    「半導体、液晶、太陽電池精密 部品の洗浄に。使用中の薬液剤を削減できます。

    MTKオゾン水の特長

    • ◯高オゾン濃度（最高100ppm）
    • ◯高いコストパフォーマンス
    • ◯コンパクトサイズ
    • ◯高速で80ppm到達

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产品介绍

碳化硅晶片

SiC（碳化硅）是由Si和C元素组成的半导体材料碳化硅拥有第二个 周期的碳元素，
与硅或者砷化镓比较，具有很强的原子结合能力，被称为宽带隙半导体。
碳化硅的能带隙达到3.2eV之大，这相当于当前主流的硅半导体的三倍。
因此，介电击穿电场强度约为硅半导体的10倍。此外， 其导热性是后者的三倍， 散热性能优异，耐热性也十分良好。