1.枚葉式洗浄装置のメリット（浸漬式・バス式との比較）

2.高性能で安価な価格設定

当社はお客様目線に立ち、プロセス性能を満足させた上で、洗浄装置価格を下げる工夫をしております。
例えば独自設計による処理チャンバ構造によるサックバックを付けずに液ダレ防止等を処理します。
また洗浄装置は独自の搬送方式により、コンパクトサイズな仕様です。
いわゆる『高性能は欲しいが、高価格では見合わない』という方に最適な洗浄装置です。
当社製品を他社と比較したポジションマップを右に示しました。装置性能は大手洗浄製造装置会社と同等で、しかも価格は約2分の1となっております。

洗浄装置製造会社のビジネスポジション

3.カスタマイズ可能

各社が必要なプロセス性能や装置サイズ、販売価格などをヒアリングさせて頂き、各社ごとに最適な洗浄装置の 設計を提案します。
従来ですと装置に使用される機能、材質が過剰になってしまい、洗浄装置価格が高価になってしまいます。 MTKは顧客第一に考えます。そのため時には顧客の予算をお聞きした上で、装置の仕様を決定する順序になります。
ダメとあきらめることなしに、先ずはMTKへご連絡下さい。

4.充実した製造サポート体制

弊社MTKは洗浄装置の仕様決定・プロセス条件の提案を顧客に対して行うプロの技術会社です。
MTKは経験豊富な他会社と協力関係を締結しております。 大量のご注文に応えるために、製造は株式会社シナノ精機が行います。
また24時間以内の現地でのサポートにもお応えします。株式会社シナノ精機は、新潟県長岡市に社を構え 主に半導体用製造装置を製造し、アフタサポートを行っているプロ集団です。
更に国内販売網の拡充と大きな資金が必要な装置ビジネスにおいて、顧客様には安心頂けるようになっております。
金沢機工株式会社は金沢市に本社を構え、創業70年と歴史ある優良老舗企業であります。

• ウエハ表面の
  パーティクル数が少ない
  
  

  

  MTKは独自の処理チャンバー構造を持っています。またウエハ処理中の気流、液流の最適化を計り最適な処理レシピ、 薬液の選択を行うことにより、極めて少ない表面パーティクル数を実現しています。
  例1）1％dHF 15秒処理の場合（6インチ） 20個/W（0.15μm以上）
  例2）DIW 30秒処理の場合（6インチ） 5個/W（0.08μm以上）

• 高性能、コストパフォーマンスに
  優れた洗浄装置
  
  

  

  現在の洗浄装置市場では高性能であるが高価格、逆に低価格ではあるが低性能といった状態になっております。
  一方『高性能は欲しいが、高価格で困る』というお客様の声も聞こえてきます。
  MTKではお客様の声にお応え致します。

• 小さな設置面積
  
  

  

  MTKは他社にはない以下のことにより、業界で最小フットプリント（設置面積）を実現しています。
  1.ユニークな搬送機構（市販ロボットを使用していません）。
  2.薬液2種類と純水リンス、乾燥までひとつのチャンバーで処理が完了します。多数段式垂直チャンバーを採用しています。
  3.各社個別に装置設計し、最適仕様をご提案致します。
  4.プロセス技術提案による過剰パーツの削減を推進します。

• プロセス条件の技術提案
  
  

  

  とかく装置製造メーカーはハードウエアには詳しいですが、プロセス技術が不得手な場合多いのが現実です。
  しかしMTKはもともと半導体製造会社出身者が在籍しているため、顧客に対して最適なプロセス条件をご提案できます。
  例）
  ◯薬液選定をご提案致します。
  ◯処理時間、回転数などのレシピをご提案致します。
  ◯オゾン水、水素水、その他の機能水のご提案を致します。

• ウエハの両面を同時に洗浄
  
  

  

  通常、枚葉式洗浄装置ではウエハ裏面をチャック上にバキューム吸着してウエハ処理するため、ウエハ表面のみしか液を当てません。
  またウエハ外周部を保持して処理する場合は、液をウエハ裏面に当てるためには、ハードウエア面での制約があり困難です。MTKは独自の手法でウエハ両面を同時に洗浄する技術を実現しました。

• オプションも充実
  （ベルヌイ式基板保持による極薄基板を処理可能化など）

  

  MTKは徹底的にコストダウンされた洗浄装置標準仕様以外にも顧客に満足される豊富なオプション群を用意しております。
  例）
  ◯べルヌイ式チャック（極薄150umi以下厚さの基板処理可能）　◯2流ジェットスプレ　　◯メガソニックスプレ　◯水素水、CO2水等の機能水　　◯オゾン水（最大30ppm）　◯ブラシ洗浄　　◯角基板処理　　◯CMP後洗浄

• ベルヌイ式基板保持により
  2つの用途が可能（オプション）

  

  1.極薄150um以下基板の処理
  2.基板の裏面専用処理

  

枚葉式洗浄装置の用途

◯半導体（前工程・後行程）
◯SAWフィルター等のセンサー
◯ハードディスク
◯FPD（液晶、スマートフォン等）。マスク洗浄
◯MEMS
◯太陽電池

動画で見る枚葉式洗浄装置

枚葉式洗浄装置のメリット（槽式との比較）

プロセス性能仕様

■薄厚ウエハの処理方法

■ダイシング後、貼合せ前後の洗浄